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技术规格
大气压 | 70~106Kpa |
工作台面中心振动静位移µm(rms) | 1.3 |
主过滤器类别 | ULPA |
人员保护 | 4.1*100000 |
主过滤器效率 | 99.9995%@0.12μm |
下降气流速度(m/s) | 0.32 |
流入气流速度(m/s) | 0.58 |
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